Una màquina de recobriment al buit és un dispositiu que diposita pel·lícules fines metàl·liques a la superfície d'un substrat. El seu principi bàsic de funcionament es divideix en tres passos: neteja, evaporació i deposició.
1. Neteja
Abans de la deposició per evaporació, s'ha de netejar la cambra d'evaporació. Com que hi pot haver òxids, greixos, pols i altres substàncies adherides a la superfície de la cambra d'evaporació, aquests afectaran la qualitat de la pel·lícula. La neteja sol utilitzar mètodes químics o físics.
2. evaporació
El material desitjat s'escalfa per sobre del seu punt de fusió de manera que formi molècules gasoses. Aleshores, les molècules gasoses s'escapen a la cambra de buit a la cambra d'evaporació. Aquest procés s'anomena evaporació. La temperatura, la pressió i la velocitat d'evaporació afecten la composició, l'estructura i les propietats de la pel·lícula.
3. Deposició
Les molècules gasoses del material a la cambra d'evaporació entren a la cambra de reacció a través del tub de buit, reaccionen amb el material actiu i després dipositen el producte a la superfície del substrat. Aquest procés s'anomena sedimentació. La temperatura, la pressió i la velocitat de deposició també afecten la qualitat i el rendiment de la pel·lícula.
2. Aplicació
Les màquines de recobriment al buit s'utilitzen àmpliament en ciències dels materials, òptica, electrònica i altres camps.
1. Ciència dels Materials
Les màquines de recobriment al buit poden preparar pel·lícules primes de diversos metalls, aliatges, òxids, silicats i altres materials, i s'utilitzen àmpliament en recobriments, pel·lícules òptiques, emmagatzematge òptic, pantalles, transistors i altres camps.
2. Òptica
La màquina de recobriment al buit pot preparar pel·lícules metàl·liques i d'aliatge amb alta reflectivitat i pel·lícules òptiques amb funcions especials. Aquestes pel·lícules es poden utilitzar en panells solars, microscopis electrònics d'alt rendiment, aerogels, sensors UV/IR, filtres òptics i altres camps.
3. Electrònica
Les màquines de recobriment al buit poden preparar materials electrònics a nanoescala i dispositius microelectrònics. Aquestes pel·lícules es poden utilitzar en nanotransistors, memòries magnètiques, sensors i altres camps.
En resum, la màquina de recobriment al buit no només pot preparar diversos materials de pel·lícula prima, sinó que també pot preparar pel·lícules primes amb funcions especials segons sigui necessari. En el futur, la tecnologia de recobriment al buit s'utilitzarà i es promocionarà més àmpliament.
Hora de publicació: 12-mar-2024